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| 弊社横浜研究所ではSEMI STANDARD S2"半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン"に基づき、半導体製造装置について作業者の安全確保・プロセス条件最適化・製造コスト削減等を目的とした各種試験を実施しております。 |
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SEMI S2 22章"排気換気"及び23章"化学物質"及びF15-93"六フッ化硫黄のトレーサーガスとガスクロマトグラフを使う筐体の試験方法"に基づき、装置内における毒性ガスの漏洩シミュレーション試験を行い、筐体構造および換気システムの適正化を図ります。
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SEMI S2 22章"排気換気"及び23章"化学物質"に基づき、装置通常運転時および保守作業時について、装置から作業環境雰囲気への化学物質漏洩レベルの調査を行います。
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SEMI S2 23章"化学物質"に基づき、装置プロセス排気ガスの成分・濃度を調査します。
| ・プロセス条件最適化・製造コスト削減・除害装置選定 |
フーリエ変換赤外分光光度計（ FT-IR ）による現地分析SEMATECH PROTOCOLに基づいた分析も可能 |
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