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所在地
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住所: 〒246-0007
神奈川県横浜市
瀬谷区目黒町29-4
TEL: 045-921-2143
FAX: 045-921-8947
MAIL: labo@tomoe…co.jp
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業務内容
 
装置安全性診断 …プロセス排気ガス分析…
 
現地にて装置より排出されるプロセス副生成物・排気系統排出物の確認を行います。
 
プロセス排気ガス分析の主な目的
合理的な排気システムの設計
排気ガス処理装置の最適化
ガス漏洩検知システムの最適化
部品材料(配管・バルブ等)の最適化
プロセス条件の検討材料として
PFC排出量の削減
法律・基準の遵守
   
つまり…保安、環境保護、コストリダクションのため

赤外分光光度計(FT-IR)による分析の利点
多成分素同時分析・成分濃度経時変化の確認が可能
多成分を一度に分析することが可能であり、プロセスと平行して各プロセス排気成分濃度の経時変化を目視にて確認することができます。
SEMATECH PROTOCOLに基づいた分析も可能
SEMATECHが推奨するFT-IRを用いたプロセス排気ガス分析手法"Guidelines for Environmental Characterization of Semiconductor Equipment"に則った分析が可能です。

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