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業務内容
 
装置安全性診断 …トレーサーガステスト…
 
SEMI S2"半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン"22章"排気換気"、23章"化学物質"及びF15-93"六フッ化硫黄のトレーサーガスとガスクロマトグラフを使う筐体の試験方法"に基づき、半導体製造装置の排気システムの安全性確認を行います。
 
トレーサーガステストの主な目的
最悪のガス漏洩発生時における装置周辺作業者の安全確保
 
装置納入客先のコスト削減
適正排気量の確認を行うことにより、無駄な排気量の削減が可能となります。
 
装置納入客先への排気量要求の根拠

S2に適合するには
SEMI S2においては、装置通常運転時・保守作業時・装置故障時における作業者呼吸雰囲気の安全確保の為、装置筐体排気の適正化が求められています。
装置部品の故障時に起こり得る最悪のガス漏洩時においては、作業者の呼吸雰囲気へのガス漏洩許容濃度がOEL(職業被曝レベル)の25%未満であることの実証が要求されます。SEMI F15-93トレーサーガステストはその確認手法として推奨されています。

実績
件数 100件以上
装置メーカー 20社以上
対象装置

常圧CVD、減圧CVD、プラズマCVD、プラズマエッチャー、拡散炉、ランプアニーラー、イオン注入装置、CMP装置、ケミカル自動供給装置、ウェットステーション、オゾナイザー、 除害処理装置、シリンダーキャビネット、ドライポンプ、マスクリペア等
('03.10現在)
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