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ガスの純度が気になるときは？ |
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事前に測定対象ガスの種類、使用状況、またトラブルの場合にはトラブルの状況などから測定成分、測定機器などの分析条件の設計をいたします。
実際のユースポイントに分析装置を持ち込んで分析を行います。 |
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| 分析機器の車両積み込み風景 |
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分析終了後に分析結果から、改善策、対応策の提案をいたします。
ユースポイントにおけるガス分析は、
1. サンプリングによる冶具や手順の測定結果への影響がありません。
2. 結果がその場で分かるため、ガスに問題があった場合に迅速な対応が可能です。
3. 分析終了直後にガスの使用が可能です。
巴商会ではリスクマネージメントとしてユースポイントにおけるガス分析を提案します。 |
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悪臭がするときは？ |
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事前に現地の状況（どのような臭いがするのか。周辺の施設、使用している化学物質など悪臭の原因となり得るもの）について打合せを行います。得られた情報から捕集方法、測定機器などを選択します。
現地に作業員がお伺いし、状況の確認および悪臭雰囲気の捕集を行います。
捕集したサンプルを持ち帰り、悪臭成分の定性、定量分析を行います。分析結果から改善策、対応策の提案をいたします。
また、半導体製造装置のプロセスチャンバー開放時の異臭について巴商会ではSEMI STANDARD S2に基づいた産業衛生試験を実施しています。 |
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| 悪臭サンプル捕集風景 |
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ガスの使用量を最適化したい！ 排出量を削減したい！ |
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FT-IRを用いたプロセス排ガス分析により、プロセスの最適化を行います。プロセスの最適化によりプロセスガスの使用量が最適化され有害物質の排出量の削減が図れます。
下記グラフはメタル成膜チャンバーのクリーニングプロセス最適化例です。このプロセスでは最適化により下記の通り、プロセス時間の短縮、プロセスガス使用量および有害物質排出量の削減が可能です。
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プロセス時間 |
：1分30秒短縮 |
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プロセスガス使用量 |
：17％削減 |
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有害物質排出量 |
：8%削減 |
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また、地球温暖化物質であるPFCの削減は、一般的に次の3つの方法が主流になっています。
1. プロセスガスの代替ガスへの変更
2. PFC処理装置による排出ガスの無害化
3. プロセスの最適化による使用量の削減
何れの方法も巴商会で対応いたします。お気軽にご相談ください。 |
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工場の排気は安全ですか？ |
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事前に測定対象である排気ダクトに接続されているプロセス装置、プロセスガス、除害装置などの情報から、排出される可能性がある成分を推定し、捕集方法、測定機器などを選択します。
現地に作業員がお伺いし、排気の捕集を行います。
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| 工場排気サンプル捕集風景 |
サンプルバック |
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捕集したサンプルを持ち帰り、排気成分の定性、定量分析を行います。分析結果から改善策、対応策の提案をいたします。 |
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