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所在地
横浜研究所
住所: 〒246-0007
神奈川県横浜市瀬谷区
目黒町29-4
TEL: 045-921-2143
FAX: 045-921-8947
MAIL: labo@tomoeshokai.co.jp
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施設ご案内
 
V.L..T …試験室…
 
除害シミュレーション室 II
特殊材料ガス、エッチングガス、有機金属など有害な成分を安全かつ高効率で処理する技術開発を行う2つの除害シミュレーション室や新規ガスアプリケーションを創出するプロジェクト室により、革新的なオリジナル技術を提供します。
評価試験室
日進月歩する高純度ガスや特殊材料ガス供給設備向けの機器およびパーツ類をAPI-MSや顕微FT-IRを用いてテストする評価試験室。

プロセスクリーンルーム
CVDやエッチングなどのガスプロセス(特殊材料ガスも可能)を行い、リアルタイムでの排気ガス組成分析や排ガス処理パフォーマンスをテストできるプロセスクリーンルーム。
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