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ガス設備
 
排気設備
 
ご利用いただいたガス・ケミカルの排気ガスに含まれる有毒物質等を安全に処理するための設備のご紹介です。
 
PFC・HFCプラズマ分解装置


PFC・HFCプラズマ分解装置は排気ガス中のPFC・HFCをプラズマにより分解し、そこにH2OやO2を添加して分解したPFC・HFCガスの再結合を防ぎ、処理可能なガスに転化する装置です。
PFC・HFCプラズマ分解装置の詳細を見る

  PFC・HFCプラズマ分解装置
MAK-series


乾式除害装置MAKシリーズは、排気ガス中の有害成分を化学処理剤「トムクリーン」と反応させ、安全な化合物に変えて処理剤内に安定します。トムクリーンを処理対象成分に合わせて選択することにより多種多様な排気ガスに対応できます。排気ガス中の有害成分を化学処理剤「トムクリーン」と反応させ、安全な化合物に変えて処理剤内に安定します。トムクリーンを処理対象成分に合わせて選択することにより多種多様な排気ガスに対応できます。
MAK-seriesの詳細を見る

  MAK-series
 
ALD用乾式除害装置


乾式除害装置MAKシリーズ (ALD用)は、排ガス中の有害成分を化学処理剤トムクリーンと反応させ、安全な化合物に変えて処理剤内に固定します。トムクリーンを処理対象成分に合わせて選択する事により多種多様な排気ガスに対応できます。
※生産用については別途ご相談ください。
MAK-seriesの詳細を見る

  MAK-ALD
 
ガス滅菌排ガス処理装置


巴商会のガス滅菌排ガス処理装置(EOSYS-MINI)は、簡単な操作で安全に排出基準濃度以下に処理する装置です。
ボタン1つでの自動運転で、ガス滅菌装置との連動運転も可能です。
EOS-MINIの詳細を見る

  EOS-MINI
プロセス排ガス処理装置


湿式・熱分解式・燃焼式・化学反応式・化学吸着式・物理吸着式・プラズマ分解式
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