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ガス・ケミカルの供給をするための機器・装置や部品のご紹介です。 |
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| キャビネットもスタンドも除害装置も同一コンセプトでラインナップ。デザインも操作感も Smart & Simple でコストパフォーマンスに優れた商品です。 |
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| 異常時にその信号を取り込んでガスシリンダーの元弁をゼンマイバネの力で遮断させる装置です。ガス爆発及びガス中毒を未然に防止する為に開発され、ガスシリンダーに容易に取り付けられる防爆性を十分考慮した商品です。 |
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| 半導体製造装置プロセス反応室内のメンテナンス時に放出される腐食性ガスを、強制排気で吸引して作業者のガス暴露及び設備の腐食を防止する商品です。可搬性を考慮しコンパクトに設計された商品です。 |
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| 簡単操作・コンパクト設計・高純度・安価な窒素ガスをご提供する窒素ガス発生装置です。 |
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発生装置 |
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PSA方式 |
窒素・酸素 |
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膜方式 |
窒素・酸素 |
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深冷分離方式 |
窒素・酸素・アルゴン |
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改質方式 |
水素（メタノ−ル改質・都市ガス・LPG改質） |
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水電解法式 |
水素・酸素 |
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容器・貯槽 |
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高圧ガス容器各種（1、3．4、10、20、47、50、500L 等） |
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集合容器（カードル、トレーラー式） |
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可搬式低温容器（液化窒素・液化酸素・液化アルゴン・液化炭酸） |
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マホービン式容器 |
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ガスホルダー |
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バッファータンク |
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円筒横型貯槽 |
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コールドエバポレーター（CE） |
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