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ガス豆知識
■PFC・HFCプラズマ分解装置
PFC・HFCプラズマ分解装置
【画】LG3000Plus PFC・HFCプラズマ分解装置は排気ガス中のPFC・HFCをプラズマにより分解し、処理可能なガスに転化する装置です。
 
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【画】LG4000  
 
(例)CF4 ガスのプラズマ分解反応
【画】プラズマ分解反応イメージLG4000
CF4 + O2   → CO2 + 2F2
 
PFC・HFCガスのプラズマ分解反応は真空下で行いますので、PFC・HFCプラズマ分解装置はエッチング装置のターボ分子ポンプとドライポンプ間の真空配管に設置します。
 
PFC・HFCプラズマ分解処理設備
PFC・HFCプラズマ分解処理設備は以下の装置から構成されます。
プラズマ分解装置は小型装置なので、既存設備に追加導入する場合でも設置スペースを必要としません。
 
制御盤
設備を構成する機器の運転/停止や異常発生時のインターロック動作を行います。

PFC・HFCプラズマ分解装置
プラズマ放電によりPFC・HFCを処理可能なガスに転化させます。

添加ガス制御部
PFC・HFCプラズマ分解装置に添加ガス(O2)を一定量で導入します。

排ガス処理装置
PFC・HFCプラズマ分解時に発生した生成物を処理します。
 
処理可能成分
CF4、CHF3CH2F2、SF6C4F8、NF3 等。
 
プラズマ分解装置外観
プラズマ分解装置外観
 
お問い合わせ先
機器営業部
  E-mail kikieigyou@tomoeshokai.co.jp
 
 
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