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ガス豆知識
■排ガス処理装置 WASTE GAS ABATEMENT SYSTEM
ALD用乾式除害装置(ラボ・研究開発用)
【外観】ALD用乾式除害装置 巴商会の乾式除害装置MAKシリーズ(ALD用)は、排ガス中の有害成分を化学処理剤トムクリーンと反応させ、安全な化合物に変えて処理剤内に固定します。トムクリーンを処理対象成分に合わせて選択する事により多種多様な排気ガスに対応できます。
※生産用については別途ご相談ください。
 
 
低圧損
圧力損失の少ない処理剤充填方法を採用。装置内圧力損失が0.1KPa以内に抑制されたことにより、専用排気ブロワーを不要化、ランニングコストを低減します。
 
安全性
 
【内観】ALD用乾式除害装置
排ガス部材質は処理対象ガス及び反応温度を考慮した材質を使用しています。
排ガス処理ラインにはフルボアタイプのバルブを使用し、装置内での閉塞が起こりにくい構造となっております。
処理対象ガスと反応後の処理剤は安定な化合物であり、弊社にて産業廃棄物として安全に処理されます。
 
対応ガス種【プリカーサー】
 
TMAl
TEMAHf
TEMAZr
TiCl4
TEOS
HMDS
TDMAT
DEZn
TMGa
TMIn
TEB
TMB
TMSb
NH3
O3

※上記表に記載していないガス・材料についての除害可否は別途ご相談ください。
 
仕様
 
型式
1筒式
MAK-025EA
外形寸法(mm)

700× 500×1300

重量(kg) 約150
処理筒寸法(mm) φ216.3×600
通気可能量(L/min) 最大40
 
ユーティリティー
 
項目
仕様
パージ・気密用窒素 0.1〜0.7MPa 10L/min
筐体排気 0.5m3/min以上
 
お問い合わせ先
 
機器営業部
  E-mail kikieigyou@tomoeshokai.co.jp
 
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