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低圧損 |
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圧力損失の少ない処理剤充填方法を採用。装置内圧力損失が0.1KPa以内に抑制されたことにより、専用排気ブロワーを不要化、ランニングコストを低減します。 |
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安全性 |
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| ・ |
排ガス部材質は処理対象ガス及び反応温度を考慮した材質を使用しています。 |
| ・ |
排ガス処理ラインにはフルボアタイプのバルブを使用し、装置内での閉塞が起こりにくい構造となっております。 |
| ・ |
処理対象ガスと反応後の処理剤は安定な化合物であり、弊社にて産業廃棄物として安全に処理されます。 |
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対応ガス種【プリカーサー】 |
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TMAl |
TEMAHf |
TEMAZr |
TiCl4 |
TEOS |
HMDS |
TDMAT |
DEZn |
TMGa |
TMIn |
TEB |
TMB |
TMSb |
NH3 |
O3 |
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※上記表に記載していないガス・材料についての除害可否は別途ご相談ください。 |
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仕様 |
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型式 |
1筒式 |
| MAK-025EA |
| 外形寸法(mm) |
700×
500×1300 |
| 重量(kg) |
約150 |
| 処理筒寸法(mm) |
φ216.3×600 |
| 通気可能量(L/min) |
最大40 |
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ユーティリティー |
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項目 |
仕様 |
| パージ・気密用窒素 |
0.1〜0.7MPa 10L/min |
| 筐体排気 |
0.5m3/min以上 |
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お問い合わせ先 |
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