産業用ガス、高圧ガス、特殊ガスなら株式会社巴商会

 
サイト内検索
株式会社 巴商会TOMOE SHOKAI Co., LTD ENGLISHサイトマップお問い合わせ
HOME 会社案内 商品とサービス ソリューション 技術情報 安全・品質・環境 CSR報告 採用情報
HOME > ショールームのご案内 > ガス設備 乾式除害処理



商品とサービス
ガス豆知識
■排ガス処理装置 WASTE GAS ABATEMENT SYSTEM
MAK-series
【画】MAK-100E(BM付き) 長年の実績により、様々なプロセスガスに対応可能です。ご要求のプロセス条件にあわせた最適な除害装置をご提案します。
製品資料ダウンロード
PDF形式
PDF形式
(2.53MB)
 
 
安全性
排ガス部材質は処理対象ガス及び反応温度を考慮した材質を使用しています。
処理剤破過検知のほか、装置内圧力・処理剤温度等を常時モニタリングし、異常発生時に警報を発報します。(一部オプション)
排ガス処理ラインにはフルボアタイプのバルブを使用し、装置内での閉塞が起こりにくい構造となっております。
処理対象ガスと反応後の処理剤は、弊社にて産業廃棄物として安全に処理されます。
 
特徴
 
小流量から大流量まで対応した豊富なラインナップ。
少ユーティリティー。
シンプル設定で簡単操作。
 
対応ガス種(例)
 
処理剤名 対象プロセス 対象ガス
TC-1 Ion-Implantation AsH3、PH3、BF3
TC-2 CVD NH3
TC-4 CVD SiH2Cl2、WF6、SiF4
Etching BCl3、HCl、HBr、F2、SiF4、WF6
Cleaning HF、F2、SiF4、COF2、OF2
TC-5 CVD TEOS、CO
TC-12 CVD SiH4、PH3、AsH3、B2H6
 
主なラインナップ
 
型式 MAK-025E MAK-100E MAK-550E
外形寸法(mm) 700×
650×1900
750×
750×1900
1000×
900×1900
配管材質 SUS304 SUS304 SUS304
通気可能量(L/min) 最大40 最大120 最大250

※その他の型式については、カタログを参照ください。

 
ユーティリティー
 
項目 仕様
電源 AC100V 5A
パージ・気密用窒素 0.1〜0.7MPa 10L/min
筐体排気 筐体容積 × 10回/時間以上(目安)
 
お問い合わせ先
機器営業部
  E-mail kikieigyou@tomoeshokai.co.jp
 
PDF形式のファイルをご覧になるにはAdobe System Incorporated(アドビシステムズ社)のAdobe(R) Acrobat(R) Readerが必要です。
アクロバットリーダー
 
プライバシーポリシーお問い合わせ このページの上へ戻る

【画】Copy all Rights Reserved.産業用ガス、高圧ガス、特殊ガスなら株式会社巴商会 All Rights Reserved.