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ガス豆知識

■排ガス処理装置　WASTE GAS ABATEMENT SYSTEM

	長年の実績により、様々なプロセスガスに対応可能です。ご要求のプロセス条件にあわせた最適な除害装置をご提案します。
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安全性

・	排ガス部材質は処理対象ガス及び反応温度を考慮した材質を使用しています。
・	処理剤破過検知のほか、装置内圧力・処理剤温度等を常時モニタリングし、異常発生時に警報を発報します。(一部オプション)
・	排ガス処理ラインにはフルボアタイプのバルブを使用し、装置内での閉塞が起こりにくい構造となっております。
・	処理対象ガスと反応後の処理剤は、弊社にて産業廃棄物として安全に処理されます。

特徴

・	小流量から大流量まで対応した豊富なラインナップ。
・	少ユーティリティー。
・	シンプル設定で簡単操作。

対応ガス種（例）

処理剤名	対象プロセス	対象ガス
TC-1	Ion-Implantation	AsH₃、PH₃、BF₃
TC-2	CVD	NH₃
TC-4	CVD	SiH₂Cl₂、WF₆、SiF₄
	Etching	BCl₃、HCl、HBr、F₂、SiF₄、WF₆
	Cleaning	HF、F₂、SiF₄、COF₂、OF₂
TC-5	CVD	TEOS、CO
TC-12	CVD	SiH₄、PH₃、AsH₃、B₂H₆

主なラインナップ

型式	MAK-025E	MAK-100E	MAK-550E
外形寸法(mm)	700× 650×1900	750× 750×1900	1000× 900×1900
配管材質	SUS304	SUS304	SUS304
通気可能量(L/min)	最大40	最大120	最大250

※その他の型式については、カタログを参照ください。

ユーティリティー

項目	仕様
電源	AC100V 5A
パージ・気密用窒素	0.1～0.7MPa 10L/min
筐体排気	筐体容積 × 10回/時間以上（目安）

お問い合わせ先

機器営業部
　　E-mail kikieigyou@tomoeshokai.co.jp

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