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エキシマレーザーとは?
 
エキシマレーザーとは、Excited Dimer Laserの略称です。特性として、強い紫外領域のレーザーが得られることが挙げられます。CO2レーザーなどの赤外線レーザーと異なり、熱を発生しないためにより鋭利で、微細な加工が可能になります。

チャンバー内にハロゲン(フッ素、塩化水素)、レア(Kr、Ar、Xe等)、バッファー(Ne、He等)の混合ガスを封入した状態で、放電を行います。すると電気の力で励起(Excited)されて、レア・ハロゲン二量体が生成(Dimer)します。しかしこの状態は不安定のため、本来のレアとハロゲンの形(基底状態)に速やかに移行します。その際、電気で得たエネルギーを紫外光に変換して放出します。これがエキシマレーザーと呼ばれるものです。放電1回につき1回しか発信されないため、連続して放電を繰り返すことによって、ある程度連続したレーザーを得られることができます。この時の封入ガスのレア・ハロゲンの組み合わせにより、得られるレーザー波長が変わります。基本的には波長が短いほどレーザーのエネルギーは強くなり、より微細な加工が可能になっていきます。
XeCL 308nm
KrF 248nm
ArF
193nm
F2 157nm
 
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