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有機金属化合物(MO)
製品一覧
トリメチルガリウム(TMG)
トリエチルガリウム(TEG)
トリメチルインジウム(TMI)
トリメチルアルミニウム(TMA)
ビズ(シクロペンタジエニル)マグネシウム(Cp2Mg)
ジメチル亜鉛(DMZ)
ジエチル亜鉛(DEZ)
ターシャリーブチルアルシン(TBAs)…アルシンガスの代替品
ターシャリーブチルホスフィン(TBP)…ホスフィンガスの代替品
1.1-ジメチルヒドラジン(uDMHy)…アンモニアガスの代替品
ターシャリーブチルヒドラジン(TBHy)…アンモニアガスの代替品
ジ ターシャリーブチルシラン(DTBSi)…ジシランガスの代替品
トリメチルアルシン(TMAs)…カーボンのドーパント材

その他の有機金属化合物(MO)も取り扱っております。
 
有機金属化合物の特徴及び用途
 
有機金属化合物(MO)は化合物半導体に使用されます。
化合物半導体とは、シリコン半導体がシリコンというひとつの元素を材料にしているのに対し、複数の元素を材料にしており、シリコンに比べ、次のような優れた特性があります。
1. 受発光機能
シリコンのない発光機能をもち可視光及び赤外光を出すことができます。また、受光機能においては、シリコンと比較して高い変換効率を得ることができます。これらの機能を利用し、各種ディスプレー、信号機、光通信、太陽電池などに応用されます。
2. 高速動作特性
電子移動度はシリコンに比べて高く、例えばGaAsのそれはシリコンの5倍であり、高速演算処理が可能でスーパーコンピューターへの使用が期待されています。
3. 高周波特性
高周波領域(4GHz以上)においてノイズならびにパワーの面でシリコンより優れた特性をもち、マイクロ波通信、衛星通信等の増幅・発振器に使用されています。
4. 磁電変換機能
シリコンにない磁気に敏感である特徴を有しており、例えばモーターの回転数の精密な検知などに利用されています。
5. 耐放射線・耐熱特性
シリコンと比較して耐放射線特性及び耐熱性に優れており、宇宙空間での太陽電池等に利用されています。
このように、化合物半導体とは周期律表のIII族とV族を組み合わせそれぞれ異なった機能を発揮するものです。
III族とV族には、現在、下記の材料が代表として使われております。
 
III族 トリメチルインジウム(TMIn)
トリメチルアルミニウム(TMAl)
トリメチルガリウム(TMGa)
V族 アルシンガス(AsH3)
ホスフィンガス(PH3)
アンモニアガス(NH3)
また、半導体は不純物を溶かし込みプラスのキャリア(正孔)やマイナスのキャリア(電子)を発生させることによって電気の流れをつくりますが、この不純物原料をドーパント材といい、下記材料が代表例です。
 
ドーパント ジメチル亜鉛、ジエチル亜鉛(DMZn,DEZn)
トリメチルアルシン(TMAs)
四臭化炭素(CBr4)
ジシランガス(Si2H6)
このように、化合物半導体はIII族とV族の原料を組み合わせて作られています。
しかし、このMOVPE法の最大の問題点は、V族のソースとして、強い毒性を有するAsH3ガス、PH3ガスを高圧でボンベにつめて使わなければならない事です。
この為安全性の観点から、毒性の低いAsやPの有機化合物を使用する試みが本格化し、常温で液体であるので、たとえ容器が破壊しても高圧ガスと異なり、一時に多量の材料が噴出する危険性は小さく、安定で熱分解効率の高いTBAs、TBPが開発されました。
当初は純度が低く得られる結晶の品質が不十分でしたが、現在は純度も良く、水素化物を用いる従来法と比べて遜色のないものが得られる様になっています。

有機金属化合物を使えば、次のようなメリットがあります!!

 
1. 安全性の向上
2. 温成長の実現
3. 低V/III比の実現
4. 配管等の詰りの軽減
5. 低価格
6. 質の向上
現在、巴商会では日本国内14社のお客様に有機V族原料を供給しております。
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