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効果 |
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有害ガスからの作業者の保護。（安全対策） |
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有害ガスの拡散による腐食防止。（設備保全） |
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強制排気によるパージ時間の短縮。（装置稼働率向上） |
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複数台装置での運用（省スペース、経費節減） |
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テストデーター |
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吸引風量 |
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1.1m3／min吸引 |
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対象装置 |
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アルミエッチング装置 |
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測定方法 |
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テープ式毒性ガスモニター（FP-250A使用）
HCL用、0〜1,000ppb |
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測定結果 |
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100ppb以下 |
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設計条件 |
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対象ガス |
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酸性ガス、BCl3、Cl2、HCl、COCl2、SiCl4、HF、SiF4、COF2、F2、HBr、Br2、SiBr4、SF6分解生成物 |
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排気風量 |
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1.1m3／min |
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対象ガス濃度 |
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500ppm以下 |
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出口ガス濃度 |
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TLV値以下 |
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処理剤交換 |
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300時間（ブロワー運転） |
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使用方法 |
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チャンバーと本装置を真空継手（NW-40）にて接続し、本体内に装備しているブロワーでチャンバー内のガスを吸引します。 |
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有害（有毒）ガスは脱臭剤により、反応及び物理吸着で除害します。 |
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微細な塵はHEPAフィルターにより除去します。 |
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本装置の排気はクリーンルーム内に戻すか、排気ダクトに排出します。 |
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この処理を行った後、チャンバーのクリーニングを行うと臭気は軽減されます。 |
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外観寸法 |
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ユーティリティ- |
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本体電源 |
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AC100V 15A |
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接続継手 |
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吸気 NW-40
排気 NW-40 |
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お問い合わせ先 |
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