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商品とサービス
ガス豆知識
■チャンバークリーニングユニット CHAMBER CLEANING UNIT
RID-ACE
巴商会のチャンバークリーニングユニット「RID-ACE」は、半導体関連装置のプロセスチャンバーのクリーニング時に発生するHCL、HF、CL2等の有毒なガスが多く、チャンバークリーニング時の放出ガスによる作業者への暴露及び設備の腐食を防止する環境配慮に不可欠な商品です。
チャンバー保守時にクリーンルーム環境を汚染する腐食性ガスを完全に無害化します。
 
効果
有害ガスからの作業者の保護。(安全対策)
有害ガスの拡散による腐食防止。(設備保全)
強制排気によるパージ時間の短縮。(装置稼働率向上)
複数台装置での運用(省スペース、経費節減)
 
テストデーター
 
吸引風量   1.1m3/min吸引
対象装置   アルミエッチング装置
測定方法   テープ式毒性ガスモニター(FP-250A使用)
HCL用、0〜1,000ppb
測定結果   100ppb以下
 
設計条件
 
対象ガス   酸性ガス、BCl3、Cl2、HCl、COCl2、SiCl4、HF、SiF4、COF2、F2、HBr、Br2、SiBr4、SF6分解生成物
排気風量   1.1m3/min
対象ガス濃度   500ppm以下
出口ガス濃度   TLV値以下
処理剤交換   300時間(ブロワー運転)

RID-ACEの概念図
 
使用方法
 
チャンバーと本装置を真空継手(NW-40)にて接続し、本体内に装備しているブロワーでチャンバー内のガスを吸引します。
有害(有毒)ガスは脱臭剤により、反応及び物理吸着で除害します。
微細な塵はHEPAフィルターにより除去します。
本装置の排気はクリーンルーム内に戻すか、排気ダクトに排出します。
この処理を行った後、チャンバーのクリーニングを行うと臭気は軽減されます。
 
外観寸法
  サイズ:縦400mm×横400mm高さ1205mm 重量:110kg
 
ユーティリティ-
 
本体電源   AC100V 15A
接続継手   吸気 NW-40
排気 NW-40
 
お問い合わせ先
 
機器営業部
  E-mail kikieigyou@tomoeshokai.co.jp
 
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