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エキシマレーザーガス |
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KrF プレミックスガス(Ne+F2+Kr) |
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ArF プレミックスガス(Ne+F2+Ar)(Ne+F2+Ar+He) |
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XeCL プレミックスガス(He/Ne+HCL+Xe) |
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混合比率によっては特殊ガス課で在庫しています。その他御希望混合等はお問い合わせ下さい。
参考資料
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高純度ガス |
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希ガス(レアガス) |
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Ne (ネオン)
純度:99.99%〜99.999%以上
通常在庫品(99.999%): 2000L入(16L型)、6370L入(49L型) |
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Kr (クリプトン)
純度:99.9%〜99.999%以上
通常在庫品(99.999%): 100L入(2.8L型)、500L入(16L型)、2000L入(16L型) |
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Xe (キセノン)
純度:99%〜99.999%以上
通常在庫品(99.999%): 50L、100L、200L入り(各2.8L型) |
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その他ガス |
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CH2F2
1. 半導体グレード(純度:99.999%)
2. CPグレード(純度:99.9%) |
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CO
1. 半導体グレード(純度:99.997%)
2. リサーチグレード(純度:99.99%) |
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環境測定用標準ガス |
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TO-14
1. 39〜43成分
2. 芳香族 (Aromatic)
3. 反応性ガス (Reactive)
4. 調整用 |
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SG-HAPs9(優先対応物質:9成分) |
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オゾンモニター(PAMS:55成分) |
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内部調整用ガス(1〜3種) |
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水銀(Hg 10〜60ug/m3) |
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参考資料
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関連機器 |
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圧力調整器、ハロゲンフィルター、簡易緊急除害装置 |
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詳細については別途お問い合わせ下さい。 |
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