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エキシマレーザーガス |
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KrF プレミックスガス（Ne＋F2＋Kr） |
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ArF プレミックスガス（Ne＋F2＋Ar）（Ne＋F2＋Ar＋He） |
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XeCL プレミックスガス（He／Ne＋HCL＋Xe） |
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混合比率によっては特殊ガス課で在庫しています。その他御希望混合等はお問い合わせ下さい。
参考資料
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高純度ガス |
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希ガス（レアガス） |
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Ne （ネオン）
純度：99.99%〜99.999%以上
通常在庫品（99.999%）： 2000L入(16L型)、6370L入(49L型) |
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Kr （クリプトン）
純度：99.9%〜99.999%以上
通常在庫品（99.999%）： 100L入(2.8L型)、500L入(16L型)、2000L入(16L型) |
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Xe （キセノン）
純度：99%〜99.999%以上
通常在庫品（99.999%）： 50L、100L、200L入り(各2.8L型) |
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その他ガス |
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CH2F2
1. 半導体グレード（純度：99.999％）
2. CPグレード（純度：99.9％） |
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CO
1. 半導体グレード（純度：99.997％）
2. リサーチグレード（純度：99.99％） |
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環境測定用標準ガス |
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TO-14
1. 39〜43成分
2. 芳香族 (Aromatic)
3. 反応性ガス (Reactive)
4. 調整用 |
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SG-HAPs9（優先対応物質：9成分） |
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オゾンモニター（PAMS：55成分） |
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内部調整用ガス（1〜3種） |
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水銀（Hg 10〜60ug／m3） |
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参考資料
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関連機器 |
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圧力調整器、ハロゲンフィルター、簡易緊急除害装置 |
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詳細については別途お問い合わせ下さい。 |
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