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供給

発生装置

排気

管理

空気分離方式

大気（空気）を原料として、主に、酸素・窒素ガスを分離して供給する装置で、ガス純度・発生量等により下記に掲げる方式を選択致します。

・常温分離方式

1．	PSA（吸着）装置　（Pressure Swing Adsorption）圧縮機により空気を加圧し吸着剤に不純物を吸着除去させ、目的のガスを分離し取出す事ができます。尚、原料は、減圧（脱着）する事により不純物が脱着再生出きる為、この工程を繰返す事により連続して、ガスを分離し供給する装置です。純度：99～99.99% 使用量：10～600Nm³/H　位

2．	膜分離装置圧縮機により空気を加圧し膜分離モジュ－ルを利用して、空気中の各組成ガスの膜透過速度の違いを利用して、目的のガスを分離し供給する装置です。純度：99%以下使用量：1～300Nm³/H　位

PSA

・深冷式空気分離方式

空気を原料として、圧縮機にて空気を加圧して、コ－ルド・ボックスの中で原料空気を冷却液化し、精留塔にて各成分の沸点差を利用して精留分離を行い主に、窒素・酸素・アルゴンを分離できる装置です。

純度：99.999%以上
使用量：300Nm³/H　以上　位

深冷式

水素製造装置

水素ガスの製造は原料となるソ－スにより製造方法が各々あり下記に現在の代表となる方式を御紹介いたします。

・水蒸気改質法による水素製造方法

1．	メタノ－ル方式原料のメタノ－ルと純水を混合し加熱・気化させ約300℃に加熱させ分解反応器内の触媒により　Co₂+3H₂-14.8kcal/mol 変成反応させる。改質ガスは、PSA装置に送られ高純度の水素ガスになり供給される。純度：99.99%以上使用量：40～2000Nm³/H

メタノール方式

2．	都市ガス方式（LPG）原料の都市ガス（LPG）と純水を混合し加熱・気化させ約800℃に加熱させ分解反応器内の触媒により　Co+3H₂　変成反応させる。改質ガスは、冷却され後Co変成器に導きられ水蒸気と反応しCo₂とH₂に変成されます。変成ガスは、PSA装置に送られ高純度の水素ガスになり供給される。純度：99.99%以下使用量：40～2000Nm³/H

・純水電解法による水素製造方法

固体高分子電解質膜を利用し膜の両面に陽極・陰極の電極触媒を配置しています。
陽極側に純水を供給し電気を通すと電極触媒で純水が分解され酸素ガスが発生して、同時に分解された時に生成したH+イオンが固体高分子電解質膜を通過し陰極側の電極触媒層で電子を得て水素ガスが発生する。

純度：99.999%以上
使用量：0.5～50Nm³/H