事例紹介

ガスの純度が気になるときは？

事前に測定対象ガスの種類、使用状況、またトラブルの場合にはトラブルの状況などから測定成分、測定機器などの分析条件の設計をいたします。

分析終了後に分析結果から、改善策、対応策の提案をいたします。
ユースポイントにおけるガス分析は、

1. サンプリングによる冶具や手順の測定結果への影響がありません。
2. 分析終了直後にガスの使用が可能です。

巴商会ではリスクマネージメントとしてユースポイントにおけるガス分析を提案します。

ガスの使用量を最適化したい！排出量を削減したい！

FT-IRを用いたプロセス排ガス分析により、プロセスの最適化を行います。プロセスの最適化によりプロセスガスの使用量が最適化され有害物質の排出量の削減が図れます。
下記グラフはメタル成膜チャンバーのクリーニングプロセス最適化例です。このプロセスでは最適化により下記の通り、プロセス時間の短縮、プロセスガス使用量および有害物質排出量の削減が可能です。

• プロセス時間：1分30秒短縮
• プロセスガス使用量：17％削減
• 有害物質排出量：8%削減

また、地球温暖化物質であるPFCの削減は、一般的に次の3つの方法が主流になっています。

1. プロセス時間：1分30秒短縮
2. プロセスガス使用量：17％削減
3. 有害物質排出量：8%削減

工場の排気は安全ですか？

事前に測定対象である排気ダクトに接続されているプロセス装置、プロセスガス、除害装置などの情報から、排出される可能性がある成分を推定し、捕集方法、測定機器などを選択します。
現地に作業員がお伺いし、排気の捕集を行います。

捕集したサンプルを持ち帰り、排気成分の定性、定量分析を行います。分析結果から改善策、対応策の提案をいたします。